真空冷噴
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真空冷噴
真空冷噴（氣懸浮沉積設(shè)備）
SWZKLP真空冷噴涂系統(tǒng)
一，設(shè)備概述
真空冷噴涂環(huán)境系統(tǒng)是根據(jù)客戶(hù)工藝要求，結(jié)合陜西賽維自動(dòng)化有限公司在真空系統(tǒng)上的成功經(jīng)驗(yàn)設(shè)計(jì)的一套用在真空室體的冷噴涂系統(tǒng)。設(shè)備的主要用途：沉積微米級(jí)厚度的陶瓷薄膜。
氣懸浮沉積設(shè)備性能參數(shù)：
1） 極限真空度：5Pa
2） 工作真空度：50~1000Pa；動(dòng)態(tài)可調(diào) 精度±5Pa（升級(jí)不另行通知）
3） 真空室體尺寸（長(zhǎng)×寬×高）：1050×800×900mm；（升級(jí)不另行通知）
4） 二維工作臺(tái)行程：350×320 mm；可X-Y編程，可圖形輸入
5） 控制系統(tǒng)：PLC可編程控制器
6） 控制方式：壓強(qiáng)自動(dòng)控制
7） 氣體過(guò)濾回收
二，真空冷噴涂設(shè)備系統(tǒng)組成
真空噴涂設(shè)備系統(tǒng)包括真空抽氣泵組，真空室體及附件，真空室體底座，吹氣懸浮振動(dòng)送粉及冷噴槍?zhuān)S工作臺(tái)工件安裝及移動(dòng)裝置，電氣控制及操作系統(tǒng)，回填氣路，手動(dòng)破空閥及消音器，真空規(guī)檢測(cè)，真空管路及真空閥門(mén)等組成。
三、真空冷噴涂樣件照片
噴涂氧化鋁試件照片
噴涂氧化鋁試件掃描電鏡照片
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